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第164章 浸入式光刻技术（第1页）

兜兜转转一圈下来，赵烨发觉再搞出三微米技术之前，他必须还要脚踏实地的搞出一个中间阶段来。

直接上三微米，目前面临的问题太多了。不是说硬上不行，而是就算做出来了，在应用上一系列的设备根本就支持不了。

这就好比火车提速，不是说你的火车发动机功率足够就可以了，你要想跑得快，从车厢设计，转向架，车轮，钢轨，弯道，线路，等等等等，都要符合提速后的要求才行。这些东西不支持，你光有一个发动机是不够的。

第二代光刻技术如今已经很成熟了。

半自动化的操作，让成品率保持在了一个能够接受的范围内。如今赵烨看着实验室里的这台设备，想的是一个投机取巧的办法。说白了，就是把现在的干法蚀刻，变成湿法蚀刻。

简单来讲，就是把要照射的硅晶片，浸到水里。

水是种透明的液体，纯净的水，在一定温度下，它的折射率是固定的。那么把硅晶片放到水里，在紫外光照射到硅晶片之前，要先经过水的折射。

只要控制好掩模和光照的方向，就能在现有的设备基础上，把制程工艺提高半步。

这样一来，之前制程，就能进步到5微米上下了。

有了这个工艺方法，赵烨就可以在以后的技术升级中，占有一定的优势。

设想是好的，不过想要实现这个技术，难度也很大。

比如水是液体，在工作台晃动的时候，水是会跟着动的，而且在工作台停下来的时候，水是不会立刻就停止运动的。

这样一来，如果光线照射下来，就会因为水的不均匀，似的折射角度发生极大的偏差。

所以这个时候，就要求工作台不能移动，或者是说不能过多移动。

还有一种方法，是把液体的盛在一个密闭的容器里，这样就能避免液体的波动造成的误差。

不过这样一来，也有它的弊端，一是操作不便，效率低下。再者就是用于密封的容器，本身就可以看成一组镜片。他的纯净度和折射率同样是不规整的。

假如可以做出纯净度和折射率都很完美的玻璃，那直接做透镜组就好啦，干嘛还用来做容器呢？这就是多此一举了。

用水，本身就是利用了纯净的水容易加工这一特性，再给它加个盖子，那才是脱了裤子放屁，多此一举呢。

赵烨一个人蹲在实验室里，连着好多天都在看着这台设备发呆。

周围的人很多都不怎么认识赵烨，对他的研究风格非常好奇。

可是这些人注定是失望的，赵烨在众人眼前就是这么蹲着，一点多余的行为都没有。

既看不到赵烨做验算，也看不到赵烨画图纸。大家不免对赵烨的行为有了不好的猜测。也就是他过去的光环太耀眼了，否则说怪话的人肯定是少不了的。

就这样过了几天，一早来上班的人发现赵烨终于不再盯着那台光刻机看了。

因为他已经把这台机器给拆的七零八落。零零碎碎的各种零部件就摆放在一张帆布上。

“赵副处长，您怎么把这台设备给拆了？这可是要用来做实验的，咱们八号实验室就这么一台呀！”一个小头头见到这样的场景，跑过来就指责赵烨。

赵烨只是看了对方一眼，并没有多说话。

“赵副处长？你听到我说话了吗？你这个态度……”

“行了，行了。我听见了，责任我来负，你不用管。”赵烨见那人还想再说什么，终于忍不住打断了对方的说话。

“赵副处长，我们今天的实验可就没法再做了，完不成任务进度，这可不是我们的责任！”那个小头头立马就甩锅道。

“嗯，知道了。你去忙你的吧，另外你们的实验任务我知道，这样，你们小组今天就写总结报告，那个实验任务不用再做下去了。一会儿我给你们新的任务。”赵烨的话更不客气，说白了，那人只是一个小组长，还没有资格教赵烨做事。再说了，他怎么进来这个实验室的，赵烨心里一清二楚。

他确实是没有权利让他走人，不过，既然是进来了这里，服从上级管理和工作安排，这个是最起码的要求吧，总不至于这个都不行吧。

很抱歉，赵烨是这里的最高领导者。

那个说话的小组长当场就有些石化了，说真的，他们的实验任务都做了小半年了，不说顺风顺水吧，起码思路是已经有了的。剩下的就是熬时间，做验证，直到最佳的方桉被选出来。

可是现在，赵烨轻飘飘的一句话，他们这半年的心血就已经打水漂了。

赵烨是领导不假，可是他们也是有脾气的呀！

“赵副处长，我们小组需要一个解释！你不能随随便便就停掉我们的实验工作，这里面包含了我们…”

“行了行了，我知道你想说什么，是包含了你们半年多的心血是吧？”赵烨被人说的有些烦躁了，他放下手里的工作站起来，随手在自己的办公桌上拿起一叠文件，递给了对方。

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