手机浏览器扫描二维码访问
chapter063 光刻胶（第1页）
高能物理研究所本就是研究核能物理的等先进技术的地方，在布一楠之前就已经着手开始了国产光刻机的制造。
但是因为工艺水平和理论限制一直没有大的突破。
布一楠想造光刻机，邓玉峰就将高能物理研究所的事情告诉了她。
布一楠之后就将光源部分交给了对方，他们本就有一些设计理念和思路在，加上布一楠的技术至此也花了将近两个月才搞定这些。
只是想到组装光刻机过程的时候，布一楠却发现自己还遗漏了一种物品。
智者千虑必有一失，她这是彻底忘记了这东西也没有卖的，得现造啊！
光刻胶。
如果把光刻机形容成半导体行业的皇冠的话，光刻胶就是这皇冠上最璀璨的明珠。
虽然光刻胶仅占半导体材料行业的5%，但是光刻胶是芯片制造行业中最核心、最关键的三大件之一。
硅片，第一；光刻机第二，第三就是光刻胶。
整个晶圆制造过程中，光刻耗时约占整个工艺的40%-60%。
光刻胶（Photoresist）又叫光阻剂或光阻液。
光刻胶是一种能把光影化为现实的胶体，有着正胶负胶之分。
其中正胶是一种见光死的材料。
但是在暗中却异常坚挺，被特定波长的光线照射就会疲软，继而能被溶解清除。
负胶则和正胶刚好相反。
所有光刻技术就是利用光刻胶的这种光敏性，来雕刻芯片。
（目前全球五大光刻胶生产厂家其中四家是日企，一家是美企）
例如，我们要造一个沟槽式的内存芯片（DRAM），首先在暗中给硅片涂一层光刻胶，再照上光掩膜进行曝光，让光线按照光掩膜上设计好的坑位通过照在光刻胶上。
这些胶体就会疲软，随即被溶剂洗掉，而剩余坚挺的光刻胶成为了保护膜，接着用能腐蚀硅的溶剂，把没有光刻胶保护的坑位区域腐蚀掉一层，最后再把光刻胶保护膜清除，就完成了大量深坑的精确雕刻。
同时这种对硅片定向做减法的腐蚀，就是刻蚀（etching）。
刻蚀、沉积、注入粒子就是光刻的基本步骤。
而硅片的每一次光刻又要经过8个步骤，3个烘焙。
光刻步骤：
1清洁及表面处理
用去离子水清洗后，为了给硅片做增黏处理，会用六甲基二硅胺烷的气体（HMDS）熏蒸硅片，使硅片表面充分脱水。
2旋转涂胶
在硅片中间旋转滴入硅刻胶，让硅片高速转动把胶体摊开，在以较慢的速度旋转，让胶体厚度稳定，接着去边处理，去掉边缘一圈的光刻胶。
3前烘
涂胶后机械臂拿出硅片放入烤箱或热板上进行烘焙，目的减少光刻胶中溶剂含量，让其更加浓稠坚固，提高与硅片的附着稳定性，一般100°左右的温度烤一分钟，因为光刻胶不耐高温。
4对准和曝光
光掩模、透镜组和硅片工作台精密对准和调频，光源放光，移动硅片台让硅片有序曝光。
5后烘（PEB）
通过加热让光刻胶中的光化学反应充分完成，可以弥补曝光强度不足的问题，同时减少光刻胶显影后因为驻波效应产生的一圈圈纹路。
6显影冲洗
后烘后把曝光的部分溶解清除，光掩膜上的图像就复现在了光刻胶上。
再具体一些就是用去离子水润湿硅片，把显影液（四甲基氢氧化铵）的水溶液均匀喷淋在光刻胶表面，让光刻中被曝光的部分充分溶解，最后用去离子水冲走（45纳米以下的制程，因为尺寸太小溶解残留物比表面积过大，黏附力强，需要加喷氮气）
7坚膜烘焙
让保护膜更坚挺，更加顶得住刻蚀。
趟过人生河 老婆安然，萌娃大闹特种兵世界 逃荒路杳杳 冥王妻：我家夫君有点疯 力量异能废力量和力量是有区别的 不是高冷太子吗？怎么那么会撒娇 快穿：好孕爆棚，帝王掌中宝 开封府胥吏 审判之瞳：开局设计意外裁决罪犯 暮归之路两不负 乐园招了个深渊异族 特种兵：特战精英，震撼狼牙 反派儿子你跪下，妈求你点事 hp：救世主但是不可饶恕咒仙人 快穿：全能路人炮灰 末日重生：万亿物资换女神 穿越，我成了艺术学院的校医 知青又娇又软，糙汉拿命宠 从小士卒到大夏第一猛将 四合院：维度之神
无敌从满级属性开始
穿越成修真世界的一个废柴，那还修你妹的真？一道七彩霞光之后，杨真直接吊炸天了！他看过的功法，直接满品满级，学都学不完！他炼制的丹药，不但起死回生，还能青春永驻！他锻造的武器，上打神王大帝，下捅黄泉幽狱，每一件都让天地颤栗，让神魔退避！我杨真从不装逼，因为我真牛的一批！一群542062672（已满）二群...
天美地艳男人是山
从农村考入大学的庾明毕业后因为成了老厂长的乘龙快婿，后随老厂长进京，成为中央某部后备干部，并被下派到蓟原市任市长。然而，官运亨通的他因为妻子的奸情发生了婚变，蓟原市急欲接班当权的少壮派势力以为他没有了后台，便扯住其年轻恋爱时与恋人的越轨行为作文章，将其赶下台，多亏老省长爱惜人才，推荐其参加跨国合资公司总裁竞聘，才东山再起然而，仕途一旦顺风，官运一发不可收拾由于庾明联合地方政府开展棚户区改造工程受到了中央领导和老百姓的赞誉。在省代会上，他又被推举到了省长的重要岗位。一介平民跃升为省长...
田野花香(乡村猎艳)
陈炎是一个混得极度没出息的大学生，阴差阳错的在阳台上喝着闷酒的时候被一个中年人吓得掉下楼下，醒来的时候却发现是在自己的高中时代。经历了惨败的婚姻和现实的残酷，陈炎决定好好的利用自己机会推倒所有的美女，清纯的学生妹，只知道埋头读书的校花MM，风骚无比的成熟美妇，饥渴了N多年的迷人寡妇。重生了，干那么多大事有什么用！手里掐着钱去糟蹋别人的闺女和老婆才是王道！...
我的师父是黄蓉破天居士
一觉醒来发现身边多了个没穿衣服的美女，这个美女竟然是金庸笔下的黄蓉。而且还是少女时期的黄蓉。莫名其妙的得到了黄蓉的身心，有些木讷的小人物顿时发生了变化。挨欺负了不用咱出手，有黄MM的打狗棒法帮咱出气。想成为武林高手？没问题。桃花岛武功随便学，打狗棒法随意耍，九阴真经纵横大都市总之有了黄蓉这个伪师父，真老婆之后，一切都变的精彩了！...
风流少爷(流氓少爷尘世游)
流氓少爷实际上就是流氓少爷尘世游只不过作者名字不同，但至尊包不同和至尊风流就是同一个人，流氓少爷已经完本了，但两本书基本是一样的，只是章节数字不同而以。所以就同时把两书的章节数字标出此书记录S省富家少爷夏丰银玩转都市，风流逍遥的过程，全书以YY为主，以使读者浴血沸腾为目标，那些自命清高者可以不看！没有最淫荡，只有更淫荡！要想成淫才，快到此处来...
君少心头宝，夫人哪里跑
从我身上下去。男人的声音透着几分无奈和隐忍。我不。少女摇头，双手死死抱住身下的男人。听话，你这样我没法睡。以前我都是趴你身上睡的。那不一样你现在是人。京城杀伐果断，残暴冷血的神秘大当家意外被只小奶猫所救，从此化身猫奴，跌了一众下属的下巴。然而当有一天睡醒发现怀里的小奶猫变成了俏生生的软萌小丫...